美國OAI 358紫外線照度計,OAI 358強度能量計,358光度計詳細(xì)介紹:
美國OAI 358紫外線照度計,OAI 358強度能量計,358光度計用于ASML、佳能、尼康和超技術(shù)高強度晶圓步進(jìn)器?;谖⑻幚砥鞯?58型
外線強度和能量計可測量、存儲和調(diào)用9個系列的讀數(shù)??勺x取365、400、420和436 nm
波長的強度、能量和時間(4000 mW/cm², 999.9 mJ/cm²)。
美國OAI 358紫外線照度計,OAI 358強度能量計,358光度計特點:
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數(shù)字顯示提供可追溯至NIST的清晰測量
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測量強度、時間和能量
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記錄一系列曝光的偏差百分比
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探頭波長顯示有助于防止設(shè)置錯誤
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簡單的按鈕操作提供可靠的結(jié)果
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與許多光刻膠的光譜響應(yīng)相匹配的可拆卸探針
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顯示讀數(shù)可以鎖定
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前面板提醒提示用戶
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堅固的鋁外殼,帶有手柄和探頭袋,便于攜帶
應(yīng)用
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358型非常適合各種需要精確測量紫外線能量的行業(yè),適用于任何需要重復(fù)、可靠紫外線測量的應(yīng)用。
美國OAI 358紫外線照度計,OAI 358強度能量計,358光度計產(chǎn)品參數(shù):
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強度范圍 (mw/cm2) 40-4000
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能量范圍 (mJ/cm2) 0-9999
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時間范圍 (seconds) 0-9999
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波長選擇 (nm) 365, 400,420, 436
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精度 ± 3.0 (WB) ± 1.5 (NB)
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線性 (%) 2
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用途 高強度步進(jìn)機(jī)
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計算 平均能量; 能量偏差百分比,可達(dá)9個通道的強度和時間
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輸出輸入 打印,通道選擇,選擇探頭,波長檢查
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電力 110/220 VAC, 50/60 Hz, 可充電 6v電池 (自動關(guān)閉)
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尺寸 12.0 W x 5.0 H x 9.0 Dcm
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重量 約3.6 kg
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更有357型號可選,區(qū)別在于波段選擇和步進(jìn)器選擇上的不同。
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